激光切割加工采用光泵浦方式工作。泵浦系统包括泵浦源电源和聚光腔。根据电源工作方式的不同。可以分为连续和脉冲两大类。泵浦源包括惰性气体放电灯（闪光灯和连续弧光灯）、金属蒸气放电灯（求弧灯、威金属灯）、二极管（LD）、白炽灯和太阳能。其中最常用的是惰生气体放电灯和LD.惰性气体放电灯是前规固体激光器广为使用的泵浦光源，以脉冲氙灯和连续氨弧灯为代表。氙灯是一种亮度较高的非相干辐射源，有高的电一光转换效率（70%）和紫外到红外（0.2~1.8pm）寬的辐射光谱范围，是用于脉冲工作Nd:YAG激光器和钕玻璃微光器的常规泵铺光源。

        氙灯由外加高压电脉冲触发方式启动，分为外触发和内触发两种方式。由于氮比氙的线状光谱能更好地与Nd:YAG晶体的吸收谱相匹配，因此氨弧灯常作为连续工作Nd:YAG激光器的泵浦光源。经过测量，在0.3~1.2pum光谱范国内。氪弧灯的辐射效率约为40%。虽然闪光灯的辐射效率高，但它们的宽带辐射谱中只有一小部分能被微活粒子所吸收其余部分大多以热的形式散逸有害的紫外辐射还会使工作物质劣化。因此可使用LD普代惰性气体放电灯。

        可选择LD激光发射波长落在激活离子的主吸收线上。这样使激励效率大为提高。热效应显著降低。激光切割加工器件结构紧凑、寿命长，连续工作LD寿命超过10*h，脉冲工作在10*次以上，远远超过闪光灯的200h和106次。LD泵浦的全固态器件体积小、重量轻、效率高、工作性能稳定，已成为固体激光器的一个重要发展方向。
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